隨著宏觀經(jīng)濟的穩(wěn)步復蘇和終端需求的逐步增強,半導體行業(yè)正站在一個嶄新的歷史節(jié)點上。技術迭代升級和降本增效,已成為半導體企業(yè)把握機遇、應對挑戰(zhàn)的兩大核心策略。作為本土超純水企業(yè)的代表,高頻科技憑借其先進的超純水工藝技術,為半導體企業(yè)沖刺先進制程提供了有力支持,并帶來一系列優(yōu)化成本效益的創(chuàng)新解決方案,助力企業(yè)在激烈的市場競爭中贏得先機。

超純水技術精進,助力半導體企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展

半導體制造是一個復雜的過程,涉及晶圓制備、光刻工藝、刻蝕和腐蝕、測試、封裝等多個關鍵步驟。在這一系列精細的操作中,超純水扮演著至關重要的角色。例如,在晶圓制備過程中,超純水用于清潔、去除顆粒和化學雜質,確保晶圓表面的潔凈度,從而降低制造缺陷。在半導體光刻工藝中,超純水用于洗凈掩膜板、鏡片和晶圓,以確保圖案的精確重復和光刻質量。

超純水的水質對于半導體制造的重要性不言而喻。一旦水質無法達到足夠的純凈度,其中微粒子、氣泡(包括溶解的氧氣和氮氣)、總有機碳(TOC)、金屬離子或硼、硅等元素的微小變化,都將對半導體生產(chǎn)過程產(chǎn)生顯著影響,進而降低產(chǎn)品的質量和合格率。例如,當TOC(總有機碳)指標下降時,光刻精度會受到影響,從而導致芯片質量的下降;金屬離子指標的差異可能會改變晶圓的原子密度,同樣會導致芯片質量的降低;而硼(Boron)元素含量過高則會干擾P-N結的形成,對芯片質量產(chǎn)生不良影響。在邁入高級制程后,一些以往沒有影響良率的細微分子,也因為制程線徑縮小,成為影響品質的關鍵因素。因此,隨著芯片技術的不斷進步,對所需超純水質量的要求也日益嚴苛。

作為本土超純水企業(yè)的代表,高頻科技始終致力于超純水工藝的提升,以滿足半導體行業(yè)對超純水質量日益提升的要求。高頻科技的超純水系統(tǒng),融合了物理、化學、光化學、機械、空氣動力學、流體力學等多項學科的前沿技術。該系統(tǒng)利用多介質過濾、活性炭吸附、離子交換、反滲透膜、紫外線殺菌、紫外線TOC去除、電滲析、超濾、鈉濾、真空脫氣塔、膜脫氣等一系列先進的專利處理環(huán)節(jié),配合8次增壓提升,預處理、初級制備和拋光處理三個關鍵步驟,實現(xiàn)了對水中顆粒物、陰陽離子、特殊離子、TOC(總有機碳)、微生物、溶解氣體的嚴格控制,確保了產(chǎn)水水質接近絕 對純度,電導率無限接近18.24MΩ的理論極限值,純度高達99.9999999999%(ppt級別——十億分之一)。憑借技術工藝的不斷精進,高頻科技超純水質量已達到美國ASTM標準等國際高標準,不僅可滿足高端芯片生產(chǎn)對超純水品質的需求,還可助力半導體先進制程下的產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率提升,為企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展提供有力支持。

先進水資源管理方案,協(xié)助半導體行業(yè)提升經(jīng)濟和社會效益

由于半導體用水量大,水資源管理的資本支出被認為是一個需要監(jiān)測的關鍵指標。正因如此,越來越多半導體企業(yè)日益重視水資源管理。例如,臺積電在節(jié)水方面將水處理和回收作為重要環(huán)節(jié),目前其使用的水源中,再生水的比例高達85%-90%,工業(yè)廢水回收率更是達到了86%。

而在內地,高頻科技在水處理和回收利用等方面的表現(xiàn)同樣出眾。通過打造先進的水循環(huán)系統(tǒng),高頻科技助力半導體企業(yè)提升水資源利用率,從而實現(xiàn)降本增效,有效降低水風險,并提升經(jīng)濟及社會效益。

高頻科技依托自有優(yōu)秀半導體水系統(tǒng)專家,在確保超純水水質純度穩(wěn)定達標的基礎之上,帶來研發(fā)交付了超過30種可選回用水工藝技術,包括砂濾及炭濾器反洗水回用、砂濾及炭濾器正沖水回用、反滲透濃縮水回用、EDI和UF濃縮水回用、反滲透沖洗水回用、冷卻塔排放水回用、低濃度有機廢水回用等。目前,高頻科技的水制程回收率已達到75%-90%,致力于讓每一滴超純水都可以循環(huán)再利用,從而顯著降低企業(yè)的用水成本,提升企業(yè)市場競爭力和可持續(xù)發(fā)展能力。此外,高頻科技還通過前瞻性規(guī)劃、專家運維和綠色水系統(tǒng)創(chuàng)新等多維度,構建“綠色廠務工廠”模式,協(xié)助半導體企業(yè)進一步降低資源消耗、降低生產(chǎn)成本,滿足環(huán)保要求,從而在經(jīng)濟效益和社會效益上實現(xiàn)雙重提升。

半導體企業(yè)通過技術迭代和精細的成本效益優(yōu)化,可以不斷提升自身的核心競爭力,為企業(yè)的長遠發(fā)展奠定堅實基礎。高頻科技作為與半導體生產(chǎn)緊密相關的超純水領域科技企業(yè),不斷地通過技術進步和多元創(chuàng)新,助力半導體企業(yè)加快技術創(chuàng)新步伐,開拓降本增效空間,為半導體行業(yè)持續(xù)發(fā)展注入動力,為推動整個行業(yè)邁向更高水平做出貢獻。